精密测量与高端检测仪器

核心挑战：

如何保障光学、探针等传感器在高速扫描与定位过程中的极致稳定性和热稳定性，并确保设备内部冷却、吹扫等辅助流体系统的纯净与可靠，以提升测量数据的重复性与准确性？

EASECHAIN的解决方案

微型轴承

用于三坐标测量机（CMM）探针主轴、激光扫描仪振镜电机、视觉检测设备的XY平台，提供微米级运动平滑度与低热变形支撑。

流体连接件

用于仪器冷却水循环（维持热稳定）、光学元件清洁气路（正压防尘/防雾）、样品台温控管路（恒温控制），构建洁净、无泄漏、耐腐蚀的金属流路系统。

典型应用

几何测量：三坐标测量机（CMM）、激光跟踪仪、激光扫描仪、影像测量仪、白光干涉仪

光学检测：自动光学检测设备（AOI）、半导体检测设备（晶圆缺陷检测、CD-SEM）

精密定位：光刻机工件台、高精度转台、共聚焦显微镜